2022年4月23日,中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家,在昆明召开了由云南中科鑫圆晶体材料有限公司牵头完成的“高效率太阳能电池用锗单晶片产业化关键技术研究与应用”项目科技成果评价会。专家审阅了项目方提供的资料,听取了技术总结报告,经质询和讨论,形成如下评价意见:
一、项目提交的资料齐全、数据翔实,符合科技成果评价要求。
二、项目针对锗单晶生长界面和生长速度控制;掺杂浓度和分布均匀性控制;抛光工艺、清洗和封装;含锗废料综合回收等关键技术难题,在国家科技部“科技支撑计划项目”、国家发改委“高技术产业化项目”、国家工信部“工业强基计划”等重大专项支持下,历经10余年的系统攻关,解决了垂直梯度凝固法(VGF法)大直径锗单晶生长、高平整度开盒即用锗抛光晶片加工等一系列关键技术难题,建成了国内首条超薄锗单晶片生产线,解决了空间卫星电池用“卡脖子”技术难题,填补了国内空白,主要创新点如下:
1、发明了晶锭与热解氮化硼坩埚的脱离方法及设备,解决了VGF法晶体生长后晶锭与氮化硼坩埚难于分离的技术难题,实现了氮化硼坩埚和晶锭粘附的B2O3的剥离。
2、发明了在氢氧化钠溶液中用过氧化氢氧化去除晶片表面残留蓝色药印的技术,解决了4英寸和6英寸锗晶片表面存在残留药印难以去除的问题,显著提高了产品的合格率。
3、发明了37点法低位错密度锗晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法,提高了位错密度的检测精度,保证了产品的质量(位错密度<300/cm2)。
4、发明了一种太阳能电池用锗衬底片加工废液处理工艺,实现了再生锗原料的绿色综合回收利用。
三、制订国家技术标准9项;获国家授权发明专利5件、实用新型专利11件。产品质量达到国际标准,通过了中国电子科技集团18所、中国航天科技集团811所、德国OSRAM、AZUR SPACE客户认证,实现进口替代并批量出口。
四、建成了年产50万片超薄锗单晶材料生产线(6英寸20万片/年,4英寸30万片/年);新增销售额4.54亿元,利税4170万元。完成太阳能锗单晶废料加工回收369000kg,回收区熔锗锭金属31200kg,回收率达97.5%以上,产值2.49亿元,利润3736万元。
综上所述,专家组一致认为该成果总体达到国际先进、部分达到国际领先水平。
专家组成员
臧 健 昆明冶金研究院教授级高级工程师
杨 斌 昆明理工大学副校长、教授
胥福顺 昆明冶金研究院院长、教授级高级工程师
兰尧中 云南大学教授
谢 明 昆明贵金属研究所研究员
赖于民 云南省科学技术院研究员
普朝光 昆明物理研究所研究员
范兴祥 红河学院教授
崔 宁 云南铜业集团股份有限公司教授级高级工程师