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“数控焰熔法单晶体生长炉”项目通过科技成果评价

2020-05-15 浏览次数:1743

沈阳工程学院2个项目 anli.jpg

  2020年5月15日,中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家,在沈阳召开了由沈阳工程学院、沈阳旭日晶体科技有限公司和大连大学共同完成的“数控焰熔法单晶体生长炉”项目科技成果评价会。与会专家听取了成果完成单位的汇报,审阅了技术报告、科技查新报告、用户意见等资料,经质询、讨论,形成评价意见如下:

  1. 提供的技术资料齐全、规范,符合科技成果评价要求。

  2. 该成果使用Fluent软件模拟辅助,开发了专用三管燃烧器和数控焰熔法单晶体生长炉,满足了晶体生长的温度和成分要求。

  3. 主要创新点:

  (1)生长炉燃烧器喷嘴使用了中心(内)氧气孔、围绕中心孔分布的氢气孔和围绕氢气孔分布的外氧气孔进气结构,满足了金红石等单晶体的生长条件;

  (2)氢气和外氧气使用分布孔的结构设计保证了氢气和氧气沿生长炉轴线的均匀分布和动力压头,解决了气体侧吹产生的炉内温度分布不对称问题;

  (3)实现了晶体生长的数字控制和实时监控。

  4. 该成果具有自主知识产权,设备运行稳定、产品质量可靠,经济和社会效益显著。

  综上所述,该成果填补了国内空白,达到国内领先水平。

专家组成员

  茹红强 东北大学教授

  王 瑛 沈阳化工研究院有限公司教授级高级工程师、总工程师

  王占杰 沈阳工业大学教授

  陈 辉 沈阳建筑大学教授

  马晓红 沈阳宏扬精密陶瓷有限责任公司高级工程师、总工程师