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“锑化物多色红外探测材料与器件关键技术研发及应用”项目通过科技成果评价

2022-04-25 浏览次数:1506

锑化物多色红外探测材料与器件关键技术研发及应用 anli.jpg

  2022年4月24日,由中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家,在昆明召开了由云南师范大学、中国空空导弹研究院光电器件研究所完成的“锑化物多色红外探测材料与器件关键技术研发及应用”项目科技成果评价会。专家审阅了项目方提供的资料,听取了技术总结报告,经质询和讨论,形成如下意见:

  一、成果资料齐全、数据翔实,符合科技成果评价要求。

  二、针对锑化物红外探测领域存在的探测波段单一、缺陷密度高、大面积均匀性差等关键技术难题,依托3项国家自然科学基金面上项目,经过12年的技术攻关,获得了锑化物多色大面积超晶格和低缺陷密度的红外探测材料,支撑了宽波段器件产品开发,解决了锑化物红外探测材料制备领域的卡脖子问题,主要创新点如下:

  1、发明了分子束外延生长AlInAsSb超晶格材料的优化方法,解决了大面积均匀性和缺陷控制的关键技术问题,获得了4英寸低缺陷密度的锑化物超晶格红外探测材料。

  2、发明了基于锑化物超晶格的多色红外探测器及其制备方法,突破了晶格失配、多波段单片集成的瓶颈技术,实现了在同一器件上的多波段同时探测。

  3、发现了InSb材料界面载流子陷阱机理,开发了一种抑制表面漏电流的钝化技术,降低了暗电流,提高了灵敏度。

  三、授权发明专利5件,发表论文33篇;成果应用于中国空空导弹研究院、北方夜视科技研究院集团有限公司、高功率半导体激光国家重点实验室、北京富吉瑞光电科技股份有限公司等单位,产生了良好的经济效益和社会效益。

  综上所述,专家组认为该成果技术总体达到国内领先水平。

专家组成员

  臧 健 云南冶金集团教授级高级工程师

  柳清菊 云南大学教授

  孔金丞 昆明物理研究所正高级工程师

  张 晶 昆明理工大学教授

  许方宇 云南天文台副研究员