2018年8月8日，中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家，在昆明召开了由昆明贵金属研究所和贵研铂业股份有限公司完成的“电子信息产业用稀贵金属溅射靶材的关键制备技术及工程应用”项目科技成果评价会。与会专家审阅了相关技术资料，听取了技术总结汇报，经质询和讨论，形成如下意见：

　　一、提供的资料齐全，数据翔实，符合科技成果评价要求。

　　二、项目通过开展真空熔铸及塑性加工、高纯粉末制备及热压成型、反应合成及热等静压成型等方面的研究，成功制备出NiPt、CoCrPtB、Ru及CoCrPt-SiO2等靶材，打破了国外技术封锁、解决了靶材国产化率低等瓶颈，主要创新点如下：

　　(1)开发了NiPt靶微组织择优取向控制技术，通过冷轧与热轧、直轧与横轧交替进行的方式，解决了靶材溅射成膜均匀性、一致性的难题，获得了无织构的NiPt靶材;

　　(2)开发了靶材原料粉末的高纯化制备技术，通过蒸馏、化学沉淀、雾化造粒及微波煅烧等方式，制备出球形度好、尺寸分布范围窄的高纯Ru粉;开发出Ru靶批量制备的单次多片热压工艺。

　　(3)开发了脆性相靶材的成分控制及缺陷控制技术，通过中间合金的制备和多次凝固控制技术的应用，解决了CoCrPtB靶材中多组元合金化学成份的精确控制和内部缺陷控制问题。

　　(4)开发了含氧化物靶材的相界面结合控制技术，通过反应合成技术的应用，解决了氧化物与金属基体界面润湿及界面结合的问题，避免了包套处理工艺，缩短了生产流程。

　　三、建成了一条1500片/年稀贵金属溅射靶材生产线;开发的靶材产品技术指标达到：靶材纯度≥99.995wt%、靶材主成分偏差±0.5wt%以内、靶材密度≥98.5%、靶材与背板焊合率≥98.5%;新增销售收入1.56亿(出口创汇517.2万美元)、新增利润2982.1万元。

　　四、取得的成果：引进海外高层次人才1人，培养云南省技术创新人才2人，在职博士4人，入选云南省创新团队培养对象，获得 “云南工人先锋号”称号;申请发明专利25件，其中授权11件;发表论文66篇，其中SCI论文30篇;编制行业标准1项。

　　综上所述，该成果创新性强，社会经济效益显著，整体技术达到国内领先、国际先进水平。

　　建议：进一步扩大靶材品种开发，加大市场推广应用力度。

专家组成员

　　顾晓春　云南铜业集团教授研究员

　　杨培志　云南师范大学研究员

　　李　军　云南同创检测技术股份有限公司正高工

　　兰尧中　云南大学材料学院教授

　　杨正文　昆明理工大学教授

　　陈加希　云南冶金集团股份有限公司技术中心正高工、成果处处长

　　冯桂林　云南省金属学会正高工