2018年7月16日，中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家，在安徽省合肥市召开了由中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所完成的“高性能准分子激光关键技术及应用”项目科技成果评价会。评价委员会听取了项目方的技术成果汇报，审阅了相关技术资料，对研发的仪器设备进行了现场考察，经质询、答疑和讨论，形成评价意见如下：

　　1. 项目技术资料齐全，符合科技成果评价要求。

　　2. 成果完成单位通过长期自主研发，在实现准分子激光高重频、高功率、高稳定性输出等核心技术研究上取得重要突破，在准分子激光工业、科研和医疗领域应用研究上取得重大进展。成果的主要创新点如下：

　　(1)攻克4kHz高重复频率、三级磁压缩、优于±5ns精确放电同步、能量精确稳定控制等核心技术，研发成功国内首套MOPA构架的准分子激光全固态脉冲放电激励系统，为我国首台半导体集成电路高端光刻机中准分子激光高重频和长寿命稳定工作奠定了技术基础。

　　(2)突破百瓦级大功率准分子激光器的技术瓶颈，包括大体积均匀放电电场控制技术、工作气体的30m/s高速流场设计技术、腔体的金属陶瓷抗腐蚀材料优化及腔内气体净化技术等，为中国高端装备，特别是高端平板显示制造的准分子激光退火设备，提供了关键技术与装备。

　　(3)基于具有自主知识产权的准分子激光创新技术，研制开发了光刻机光源的激励系统、平板显示制造的准分子激光退火设备、308nm准分子激光白癜风皮肤治疗仪，均为国内最先报道，指标达到国际先进水平，准分子激光剥蚀等离子体质谱与光谱分析仪为国内首创，国际上尚未见报道。

　　中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所在准分子激光技术和应用方面的相关成果具有自主知识产权，有望解决我国极大规模集成电路制造、高性能平板显示制造、高端医疗和科研设备等领域的关键部件和装备的关键技术问题，打破该领域核心技术长期由少数国家垄断的局面，推动中国高端激光工业装备的国产化进程。

专家组成员

　　许祖彦　中国工程院院士、中国科学院物理研究所教授级高级工程师

　　顾　瑛　中国科学院院士、解放军总医院(301医院)教授

　　楼祺洪　中国科学院上海光学精密机械研究所研究员

　　张庆茂　华南师范大学教授

　　胡章贵　天津理工大学教授

　　孙晓泉　国防科技大学教授

　　李斌成　电子科技大学教授